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普達特科技(00650.HK)：12英吋LPCVD爐管設備通過客戶驗收
2026/03/25 10:21
普達特科技(00650.HK)公布，公司一台12英吋LPCVD爐管設備成功通過客戶驗收，該設備應用於LP -Si N薄膜沉積工藝。此外，另一台12英吋ALD爐管設備在客戶端處於驗證過程中，該設備應用於ALD -Si N/ALD -Si CN薄膜沉積工藝，兼容Thermal/Plasma模式。

此外，公司半導體單片清洗設備亦持續擴大客戶基礎與量產經驗。自去年10月至今，已有五台6至12英吋CUBE單片清洗設備成功於多家高質量客戶處通過驗收，應用於Si C/功率器件/數模混合芯片等領域，其中兩台設備為重複訂單。

未來，公司將繼續完成半導體先進爐管設備與清洗設備的交付與驗收，持續擴大高質量客戶基礎，並充分發揮公司技術優勢，推動先進半導體設備國產化取得進一步突破。(sl/da)~

阿思達克財經新聞
網址: www.aastocks.com